SPIN 200i-ind 스핀코터(키보드 분리형)

싱글프로세스용 스핀코터
   용도 :cleaning, drying, coating, developing and/or etching of up to Ø260mm substrates:

 
     
  • 가능사이즈: up to Ø260mm wafer,150mm x 150mm
  • 재질      : Full 플래스틱 하우징(NPP) -옵션으로 테플론 재질 선택가능
  • RPM      :0-12,000RPM,
  • Accuracy :+ - 1RPM, APT German DC Servo Motor
  • Step      :Unlimited Step &Memory
  • Acceleration / Deceleration : 1-30,000rpm/sec, step별로 설정가능
  • 회전방향 변동가능 : (CW, CCW, puddling)
  • Time      : 0.1~99999sec
  • 컬러터치스크린을 통한 쉬운 단계별 메모리 프로그램 가능
  • 글로브 박스내 설치가 용이한 최소형 사이즈 : 380mm(W) x 307mm(H) x559(D) mm :
                                               키패드분리시 : 380mm(W) x 307mm(H) x400mm(D)
    -키보드분리형


  •   Vacuum On/Off
  • 3 Programmable Dry Contacts: for automated control of Dispense unit, Nitrogen diffuser, etc.
  •   고정밀 독일제 DC 서보 모터 사용 :최고의 Coating Thickness Uniformaty 가능
      - Digitally controlled Motor with digital incremental speed signal feed back
  •   투명한 뚜껑및 :중앙에 디스펜싱용 시린지 홀더용 Hall :수동 디스펜싱 or오토디스펜싱(추가키트 필요) 가능
  •   Automatic safety lid lock with sensor interlock
  •   분리 가능한 컨트롤러(컨트롤패드)
  •   N2 diffuser for N2 purge during process
  •   Structured and password protected recipe storage for easy and safe management
      

포함 : standard Vacuum Chuck A-V87-S96-PP-HD Ø96mm for up to Ø8“ wafers.
      
       Drain connection 1” male NPT

      

 
     


  

www.sps-korea.com

Tel. +031-479-4211/2 jsi@jsits.com

SPIN200i Specifications