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큰 시료용 스핀코터는 주문 제작 가능
Natural Polypropylene Models(NPP) 가격단위:원(부가세별도)
| CHEMICAL/ DISPENSE | 용도 VS. 모델명 |
DRY | RINSE | CLEAN | ETCH | MANUAL/ COATING | AUTO/ COATING | DEVELOP | DesCription IND :키보드 분리형, |
시료 사이즈 |
가격 |
| MANUAL DISPENSE |
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재질 :NPP 서보모터 Accuracy: +-0.1 RPM 무한메모리, 무한스텝 RPM : 1-12.000 rpm; 외형치수: 274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm |
~ Ø160mm
( 6") or 4”x4” |
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키보드 분리형 글로브박스내 설치시
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재질 :NPP 서보모터 Accuracy: +-0.1RPM 무한메모리, 무한스텝 RPM : 1-12.000 rpm; 외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm |
~ Ø260mm ( 8") or 6”x6” | |||||
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키보드 분리형 글로브박스내 설치시
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| AUTO- DISPENSE |
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재질 :NPP 서보모터 Accuracy: +-0.1 RPM 무한메모리, 무한스텝 RPM : 1-12.000 rpm; 외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm |
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키보드 분리형 글로브박스내 설치시 |
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| MANUAL DISPENSE |
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재질 :NPP 서보모터 Accuracy: +-1 RPM 99 메모리, 99 step RPM : 1-10.000 rpm; 외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm |
~ Ø360mm ( 12") or 8"x8" | ||||
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키보드 분리형 글로브박스내 설치시 |
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| AUTO- DISPENSE |
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재질 :NPP 서보모터 Accuracy: +-1 RPM 99 메모리, 99 step RPM : 1-10.000 rpm; 외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm |
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키보드 분리형 글로브박스내 설치시 |
PTFE(Teflon) Models
| CHEMICAL/ DISPENSE | 용도 VS. 모델명 |
DRY | RINSE | CLEAN | ETCH | MANUAL/ COATING | AUTO/ COATING | DEVELOP | DesCription |
시료 사이즈 |
가격 |
| MANUAL DISPENSE |
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재질 :테플론 서보모터 Accuracy: +-0.1 RPM 무한메모리, 무한스텝 RPM : 1-12.000 rpm; 외형치수: 274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm |
~ Ø160mm
( 6") or 4”x4” |
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키보드 분리형 글로브박스내 설치시 |
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재질 :테플론 서보모터 Accuracy: +-0.1 RPM 무한메모리, 무한스텝 rpm; 외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm |
~ Ø260mm
( 8") or 6”x6” |
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키보드 분리형 글로브박스내 설치시 |
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| AUTO- DISPENSE |
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재질 :테플론 서보모터 Accuracy: +-0.1 RPM 무한메모리, 무한스텝 rpm; 1-12,000 외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm |
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키보드 분리형 글로브박스내 설치시 |
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| MANUAL DISPENSE |
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재질 :테플론 서보모터 Accuracy: +-1 RPM 99 메모리, 99 step RPM : 1-10.000 rpm; 외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm |
~ Ø360mm
( 12") or 8"x8" |
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키보드 분리형 글로브박스내 설치시 |
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| AUTO- DISPENSE |
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재질 :테플론 서보모터 Accuracy: +-1 RPM 99 메모리, 99 step RPM : 1-10.000 rpm; 외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm |
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| ACD300-PTFE-IND | |
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키보드 분리형 글로브박스내 설치시 |
| CHEMICAL/ DISPENSE | 용도 VS.모델명 | DRY | RINSE | CLEAN | ETCH | MANUAL/ COATING | AUTO/ COATING | DEVELOP | DesCription |
시료 사이즈 |
가격 |
| MANUAL DISPENSE |
Polos 600 SST | |
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~ Ø550mm |
제품 특성:
- 수동형 디스펜싱기능 부터 완전 자동 디스펜싱까지 폭넓은 선택 가능한 제품군
- 무진동 설계 :최대 12,000RPM :Coating Thickness Uniformaty 우수
- Acceleration / Deceleration :1~30,000RPM
- 고정밀 독일제 DC Servo모터 사용 :+-1 RPM/sec
- 설치면적 최소화 설계
- 용도에따른 주문제작 가능
- 고내화학성 하우징및 간편한 클리닝 가능
- 글로브 박스내에서도 작업 가능한 편리하고 큼직한 키보드 스타일
- 고신뢰성 반복작업 가능
- 복작한 작업 가능한 하이스텝 -메모리 기능,99Step-99memory:MCD 200~
- Programmable Relays, allowing process controlled interfacing with external hardware
- German Quality
Teflon® is a Dupont Registered Trademark, TFM is a Dyneon Registered Trademark.
- SPIN150 Spin Coater
- RPM verif. curve
- POLOS Hotplate
- Options
- OEM In-Deck Models Spin Coater
- MCD300-PTFE-HD Spin Coater
- MCD300-NPP-HD Spin Coater
- MCD200-PTFE-HD Spin Coater
- MCD200-NPP Spin Coater
- Chucks for Spin Processor SPIN150, MCD200 up to ACD300
- ACD300-PTFE-HD Spin Coater
- ACD300-NPP-HD Spin Coater
- ACD200-PTFE-HD Spin Coater
- ACD200-NPP Spin Coater
- Determination of spincoating uniformity and wafer to wafer uniformity of the APT Spincoating system using AZ5214E resist.
( By: T. Zijlstra TUDelft B. de Lange TUDelft B. van Weelde SPS )
- APT Spincoater의 특징
Wafer uniformity의 향상을 위한 2 Point
1. acceleration during ramp up: Changing the acceleration resulted in more smooth resist films,
i.e. “comet” tails disappeared when the acceleration during ramp up was increased to 1000 rpm per second, with a final spinning speed of 5000 rpm.
2. Airflow in the spinbowl: Reducing the the airflow to zero resulted in circular uniformal resist pattern on the wafer