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큰 시료용 스핀코터는 주문 제작 가능

Natural Polypropylene Models(NPP)              가격단위:원(부가세별도)

CHEMICAL/ DISPENSE 용도 VS.
모델명
DRY RINSE CLEAN ETCH MANUAL/ COATING AUTO/ COATING DEVELOP
DesCription
IND :키보드 분리형,
시료 사이즈
가격
MANUAL
DISPENSE
     
재질 :NPP
서보모터
Accuracy: +-0.1 RPM
무한메모리, 무한스텝
RPM : 1-12.000 rpm;
외형치수: 274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm

                       
~ Ø160mm ( 6")
or 4”x4”
 
     

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 

 
 

 
재질 :NPP
서보모터
Accuracy: +-0.1RPM
무한메모리, 무한스텝 RPM : 1-12.000  rpm;
외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm
~ Ø260mm ( 8") or 6”x6”  
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 

 
AUTO-
DISPENSE
     
재질 :NPP
서보모터
Accuracy: +-0.1 RPM
무한메모리, 무한스텝 RPM : 1-12.000  rpm;
외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm
 
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 
MANUAL
DISPENSE
 

 
재질 :NPP
서보모터
Accuracy: +-1 RPM
99 메모리, 99 step
RPM : 1-10.000 rpm;
외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm
~ Ø360mm ( 12") or 8"x8"  
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 
AUTO-
DISPENSE
     
재질 :NPP
서보모터
Accuracy: +-1 RPM
99 메모리, 99 step
RPM : 1-10.000 rpm;
외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm
 
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 

 

PTFE(Teflon) Models

CHEMICAL/ DISPENSE 용도 VS.
모델명
DRY RINSE CLEAN ETCH MANUAL/ COATING AUTO/ COATING DEVELOP
DesCription
시료 사이즈
가격
MANUAL
DISPENSE
     
재질 :테플론
서보모터
Accuracy: +-0.1 RPM 무한메모리, 무한스텝 RPM : 1-12.000  rpm;
외형치수: 274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
~ Ø160mm ( 6")
or 4”x4”
 
     

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 


 

 
재질 :테플론
서보모터
Accuracy: +-0.1 RPM 무한메모리, 무한스텝 rpm;
외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm
~ Ø260mm ( 8")
or 6”x6”
 
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 
AUTO-
DISPENSE
     
재질 :테플론
서보모터
Accuracy: +-0.1 RPM 무한메모리, 무한스텝
rpm; 1-12,000
외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm
 
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 
MANUAL
DISPENSE
 

 
재질 :테플론
서보모터
Accuracy: +-1 RPM
99 메모리, 99 step
RPM : 1-10.000 rpm;
외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm
~ Ø360mm ( 12")
or 8"x8"
 
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 
AUTO-
DISPENSE
             
재질 :테플론
서보모터
Accuracy: +-1 RPM
99 메모리, 99 step
RPM : 1-10.000 rpm;
외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm
 
ACD300-PTFE-IND  

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 

 

 

CHEMICAL/ DISPENSE 용도 VS.모델명 DRY RINSE CLEAN ETCH MANUAL/ COATING AUTO/ COATING DEVELOP
DesCription
시료 사이즈
가격
MANUAL
DISPENSE
Polos 600 SST         ~ Ø550mm

  

제품 특성:

  • 수동형 디스펜싱기능 부터 완전 자동 디스펜싱까지 폭넓은 선택 가능한 제품군
  • 무진동 설계 :최대 12,000RPM :Coating Thickness Uniformaty 우수
  • Acceleration / Deceleration :1~30,000RPM
  • 고정밀 독일제 DC Servo모터 사용 :+-1 RPM/sec
  • 설치면적 최소화 설계
  • 용도에따른 주문제작 가능
  • 고내화학성 하우징및 간편한 클리닝 가능
  • 글로브 박스내에서도 작업 가능한 편리하고 큼직한 키보드 스타일
  • 고신뢰성 반복작업 가능
  • 복작한 작업 가능한 하이스텝 -메모리 기능,99Step-99memory:MCD 200~
  • Programmable Relays, allowing process controlled interfacing with external hardware
  • German Quality

Teflon® is a Dupont Registered Trademark, TFM is a Dyneon Registered Trademark.

 

        Polos Spincoater 작동모습

  • Determination of spincoating uniformity and wafer to wafer uniformity of the APT Spincoating system using AZ5214E resist.
    ( By: T. Zijlstra TUDelft B. de Lange TUDelft B. van Weelde SPS )

    - APT Spincoater의 특징
    Wafer uniformity의 향상을 위한 2 Point

    1. acceleration during ramp up: Changing the acceleration resulted in more smooth resist films,
    i.e. “comet” tails disappeared when the acceleration during ramp up was increased to 1000 rpm per second, with a final spinning speed of 5000 rpm.

    2. Airflow in the spinbowl: Reducing the the airflow to zero resulted in circular uniformal resist pattern on the wafer


 

납품현황:

 

 

 

 

 

 

재성ITS co.
Tel:031-479-4211/2
Fax:031-479-4213
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