스핀코터 선택시 고려사항
| Description(설명) | 참조(Remark) | |
|---|---|---|
| 시료 크기 | 직경 기준 :6인치이하 ,8인치이하,8인치 이상 |
|
| RPM(회전속도) | 최대필요 회전속도 ex) 10,000 RPM | |
| STEP수 | 한작업에 필요한 여러단계의 속도 | |
| 메모리 기능(Memory) | 동일한 작업을 반복해서 작업할필요가 있을때 편리 | |
| 회전정밀도 | 균일한 코팅막이 필요할시 :서보모터,스테핑모터 필요 | |
| 일반적인 테스트 작업시 :아날로그 스피드 콘트롤모터 | ||
| 콘트롤 방법 | 디스플레이 콘트롤 :일반 스핀코터 | |
| 버튼식 조작 :보급형 스핀코터 :가격저렴 | ||
| 회전 방향 선택 | 역회전, 정회전,puddle 선택 가능 제품 | spin150,spin200 |
| 정회전만 가능한 제품 | ||
| 코팅두께 균일성(Unifirmaty) |
코팅두께의 편차도가 작은 작업이 필요할때는 모터의 성능이 아주 중요하며 모터도 보통 독일제나 일제 서보모터 사용 같은 서보모터 에서도 모터의 성능에따른 균일도 편차는 존재함. |
|
| 확장성 | 스핀코터에 EBR,디벨로퍼,에처,드라이어 기능 포함 여부 내부 프로그램에서 지원할시 밸브나 노즐, 베슬만 추가 장착시 사용 가능. |
spin150,spin200 option |
| 글로브 박스내 설치 | 소형 크기 및 키보드 분리형 유리 | spin150,spin200 |
싱글프로세스용 스핀코터 :Spin150i
용도 :cleaning, drying, coating, developing and/or etching of up to Ø160mm substrates:
 |
 |
|
- 가능사이즈: up to Ø160mm wafer,100mm x 100mm
- 재질 : Full 플래스틱 하우징(NPP) -옵션으로 테플론 재질 선택가능
- RPM :0-12,000RPM,
- Accuracy :+ - 1RPM, APT German DC Servo Motor
- Step :무한스텝 및 메모리 (Unlimited Step &Memory)
- Acceleration / Deceleration : 1-30,000rpm/sec, step별로 설정가능
- 회전방향 변동가능 : (CW, CCW, puddling)
- Time : 0.1~99999sec
- 컬러터치스크린을 통한 쉬운 단계별 메모리 프로그램 가능
- 글로브 박스내 설치가 용이한 최소형 사이즈 : 274mm(W) x 250mm(H) x451(D) mm :
키패드분리시 : 274mm(W) x 250mm(H) x300mm(D)-키보드분리형
- Vacuum On/Off
- 3 Programmable Dry Contacts: for automated control of Dispense unit, Nitrogen diffuser, etc.
- 고정밀 독일제 DC 서보 모터 사용 :최고의 Coating Thickness Uniformaty 가능
- Digitally controlled Motor with digital incremental speed signal feed back - 투명한 뚜껑및 :중앙에 디스펜싱용 시린지 홀더용 Hall :수동 디스펜싱 or오토디스펜싱(추가키트 필요) 가능
- Automatic safety lid lock with sensor interlock
- 분리 가능한 컨트롤러(컨트롤패드)
- N2 diffuser for N2 purge during process
- Structured and password protected recipe
storage for easy and safe management
포함 : standard Vacuum Chuck A-V36-S45-PP-HD, Ø45mm for up to Ø6“ wafers.
Drain connection 1” male NPT
 |
||
