스핀코터 선택시 고려사항

  Description(설명) 참조(Remark)
시료 크기

 직경 기준 :6인치이하 ,8인치이하,8인치 이상

 
RPM(회전속도)  최대필요 회전속도 ex) 10,000 RPM  
STEP수  한작업에 필요한 여러단계의 속도  
메모리 기능(Memory)  동일한 작업을  반복해서 작업할필요가 있을때 편리  
회전정밀도  균일한 코팅막이 필요할시 :서보모터,스테핑모터 필요  
 일반적인 테스트 작업시 :아날로그 스피드 콘트롤모터  
콘트롤 방법  디스플레이 콘트롤 :일반 스핀코터  
 버튼식 조작 :보급형 스핀코터 :가격저렴  
회전 방향 선택  역회전, 정회전,puddle 선택 가능 제품 spin150,spin200
 정회전만 가능한 제품  
코팅두께 균일성(Unifirmaty)  

코팅두께의 편차도가 작은 작업이 필요할때는 모터의 성능이 아주 중요하며
  이때는 반드시 서보모터나 스텡핑 모터를 사용하는것이 유리함.

 모터도 보통 독일제나 일제 서보모터 사용 같은 서보모터 에서도 모터의 성능에따른 균일도 편차는 존재함.

 
확장성   스핀코터에 EBR,디벨로퍼,에처,드라이어 기능 포함 여부
  내부 프로그램에서 지원할시 밸브나 노즐, 베슬만 추가 장착시 사용 가능.

spin150,spin200 option
글로브 박스내 설치  소형 크기 및 키보드 분리형 유리 spin150,spin200
     


싱글프로세스용 스핀코터 :Spin150i
   용도 :cleaning, drying, coating, developing and/or etching of up to Ø160mm substrates:

 
     
  • 가능사이즈: up to Ø160mm wafer,100mm x 100mm
  • 재질      : Full 플래스틱 하우징(NPP) -옵션으로 테플론 재질 선택가능
  • RPM      :0-12,000RPM,
  • Accuracy :+ - 1RPM, APT German DC Servo Motor
  • Step      :무한스텝 및 메모리 (Unlimited Step &Memory)
  • Acceleration / Deceleration : 1-30,000rpm/sec, step별로 설정가능
  • 회전방향 변동가능 : (CW, CCW, puddling)
  • Time      : 0.1~99999sec
  • 컬러터치스크린을 통한 쉬운 단계별 메모리 프로그램 가능
  • 글로브 박스내 설치가 용이한 최소형 사이즈 : 274mm(W) x 250mm(H) x451(D) mm :
                                               키패드분리시 : 274mm(W) x 250mm(H) x300mm(D)
    -키보드분리형

  •   Vacuum On/Off
  • 3 Programmable Dry Contacts: for automated control of Dispense unit, Nitrogen diffuser, etc.
  •   고정밀 독일제 DC 서보 모터 사용 :최고의 Coating Thickness Uniformaty 가능
      - Digitally controlled Motor with digital incremental speed signal feed back
  •   투명한 뚜껑및 :중앙에 디스펜싱용 시린지 홀더용 Hall :수동 디스펜싱 or오토디스펜싱(추가키트 필요) 가능
  •   Automatic safety lid lock with sensor interlock
  •   분리 가능한 컨트롤러(컨트롤패드)
  •   N2 diffuser for N2 purge during process
  •   Structured and password protected recipe storage for easy and safe management
      

포함 : standard Vacuum Chuck A-V36-S45-PP-HD, Ø45mm for up to Ø6“ wafers.
     
       Drain connection 1” male NPT

      

   
     


  

www.sps-korea.com

재성ITS co.

Tel. +031-479-4211/2 jsi@jsits.com

SPIN150i-ind Specifications(키보드 분리형)