휴대용 박막측정시스템 FR-pOrtable Spincoater Main
휴대용 박막측정 시스템
FR-pOrtable 는 투명또는 반투명의 필름 ,필름뭉치의 광학적특성을 측정하는데 유용한 유니크 토탈 시스템입니다.
FR-pOrtable 을 가지고 350-1,000nm 스펙트럼범위내에서 반사율(reflectance)측정이 가능합니다.
한번만의 클릭으로 빛의 반사율을 측정함으로써 얇고 두꺼운 투명 반투명의 필름의 특성을 파악할수 있습니다.
적은면적으로도 설치 가능하며. FR-pOrtable 은 노트북의 USB에 연결하는정도의 전력으로도 작동 가능할정도로 편리성이 뛰어납니다.
Equipped with:
A) Hybrid integrated Incandescent-LED 광원소스는 350-2000nm 범위의 빛을 방출하며.
embedded ymcontroller를 통해서 소프트웨어로 컨트롤됩니다.
-광원의 평균수명:20000h.
-Miniaturized Spectrometer in the 360nm - 1050nm spectral range, with 3648 pixel resolution and 16bit A/D resolution.
-전원연결: USB
-파워: The system (both spectrometer and light source):usb 포트 연결통한 작동
B) FR-Monitor software로는 장비의 작동및 데이터수집및 데이터분석을 통하여 다음의 항목 측정이 가능합니다.
1) 한장 또는 여러장의 필름 두께 측정
2) 낱장 필름의 굴절율(refractive index)측정 (at static or dynamic modes).
소프트웨어에는 여러 물질의 데이터베이스가 포함되어 추후 사용자가 활용범위를 넓힐수 있게 해주며
온라인과 오프라인 측정을 가능하게 해줍니다.?
FR-Monitor 는 흡광(absorbance), 투과율(transmittance)와 반사율(reflectance)측정을
가능하게 합니다.
또한 모든필름뭉치(film stack)에 대한 이론적인 반사율 스펙트럼(reflectance spectrum)을 제공합니다.
**One license for use with FR-tool and unlimited licenses for installation in other computers
to be used for post processing of the results.
C) 레퍼런스 샘플:
a) a silicon calibrated reflectance standard,
b) a characterized area of SiO2/Si and
c) a characterized area of Si3N4/SiO2/Si.
D) 반사율 프로브 스테이지 and 홀더 (필름의 반사율측정용):
-최대시료 사이즈: 180mm, irregular shape.
-Manual adjustment of measurement height up to60mm.
E) 반사율 측정용 Optical probe. Transmitting light fibers :6x200ym,
reflectance fiber 1x200ym,
embedded in the tool
The overall specifications of the quoted system are:
- The system is able to measure thickness of single & multi, transparent &
semi-transparent supported & free-standing, uniform & non-uniform films with thickness
in the 20nm - 90ym range.
가능 시료사이즈: 1mmX1mm to 180mmX180mm.
- 필름두께는 0.1nm 정밀도로 측정 가능, accuracy better than 1nm.
-시스템은 실시간 측정및 분석 spectra sequences의 후처리 및영상준비가 가능합니다,
- 시스템은 투면 또는 반투명한 필름들의 굴절율(굴절률)을 측정할수 있습니다.
- 필름의 두께와 무관하게 투명 또는 반투명 필름들의 굴절율(Real and imaginary part)을
측정가능합니다.
(Real and imaginary parts of the refractive index are calculated for transparent and semi-
transparent films independently of the film thickness.)
- FR-Monitor 는 다양한 물질에 대한 광범위한 데이터 베이를 포함하고 있습니다.(dielectrics,
resists, polymers, semiconductors:6개월 마다 업그레이드됨).
- FR-Monitor 는 3년간 1년에 2번씩 무료로?업그레이드 됩니다..
재성ITS co.jsi@jsits.com Tel:031-479-4211/2
안양시 동안구 호계동 555-9 국제유통상가,17동 127호